时间:2024-05-18 22:01:55
内容一:
1、IGBT芯片掩膜版用于650V/150A、****V/75A IGBT芯片制造,每套IG(略):①零层对准版,②场环版,③有源区版,④沟槽版,⑤沟道区版,⑥多晶版,⑦N型接触版,⑧孔接触版,⑨金属版,⑩钝化层版;掩膜版材质为石英双面贴膜,适用于8寸光刻机的****版。
2、FRD芯片掩膜版用于650V/150A FRD芯片制造,每套FRD芯片掩膜版包括六张:①零层对准版,②场环版,③有源区版,④孔接触版,⑤金属版,⑥钝化层版;
内容二:
1、IGBT(略)200V/75A IG(略),每套IGBT芯片掩膜版包括十张:①零层对准版,②场环版,③有源区版,④沟槽版,⑤沟道区版,⑥多晶版,⑦N型接触版,⑧孔接触版,⑨金属版,⑩钝化层版;掩膜版材质为石英双面贴膜,适用于8寸光刻机的****版。
2、FRD芯片掩膜版用于650V/150A FRD芯片制造,每套FRD芯片掩膜版包括六张:①零层对准版,②场环版,③有源区版,④孔接触版,⑤金属版,⑥钝化层版;
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